HMDS預處理系統的必要性：在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個(gè)工藝環(huán)節，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì )侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合，起著(zhù)偶聯(lián)劑的作用。雙門(mén)精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。太倉熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠(chǎng)家

600度高溫回火爐技術(shù)規格書(shū)一、設備名稱(chēng)：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設備型號：HOTTSP-HT600三、設備型號定義：HOTTSP-昆山臺上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司簡(jiǎn)稱(chēng)；600—整機最高溫度600度；HT—H表示高溫設備；T表示非標設備。四、設備用途：五金件、電子零件、精密零部件產(chǎn)品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設備能力:溫度到計時(shí)，時(shí)間到報警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動(dòng)保溫計時(shí)，時(shí)間到報警提示。7.2設備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門(mén)密封→3加熱升溫→4溫度到計時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報警→6斷電降溫→7開(kāi)門(mén)下料虎丘區性?xún)r(jià)比高工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠(chǎng)家精密雙室雙控送風(fēng)烤箱。

真空烘箱規格書(shū)一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實(shí)物3.控制器：位于機臺右側4.門(mén)：由左邊往右邊開(kāi)5.內膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著(zhù)力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節能省電，環(huán)保無(wú)污染8.爐門(mén)保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門(mén)條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9.分層：分3層，3個(gè)不銹鋼烤盤(pán)10.門(mén)口裝不銹鋼方鋼框20T*W30

對施工的各專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行資質(zhì)審查，凡從事特種工作的操作人員須持證上崗。3.6、物資控制對進(jìn)入現場(chǎng)的原材料、半成品、零部件等物資品質(zhì)的控制要求，並由責任部門(mén)和責任者對物資的品質(zhì)控制進(jìn)行監督檢查，認真做好檢查記錄，建立物資控制機制。3.7、工序控制對關(guān)鍵部位和薄弱環(huán)節設置控制點(diǎn)，並實(shí)施具體的控制措施和辦法。施工過(guò)程中嚴格“三檢”制度，開(kāi)展QC小組活動(dòng)，做到“誰(shuí)施工，誰(shuí)負責”，“上道工序不合格不得轉入下道工序”。3.8、品質(zhì)檢驗及不合格產(chǎn)品的控制嚴格按照品質(zhì)檢驗規章制度，實(shí)行崗位責任制對不合格產(chǎn)品堅決返工，獎優(yōu)罰劣。3.9、核對總和試驗控制（1）對工程中的材料、半成品、零部件等必須做到件件檢查，件件合格才能使用。（2）施工品質(zhì)嚴格按合同規定的品質(zhì)檢驗評定標準進(jìn)行施工、檢查、評定。3.10、加強內部的技術(shù)管理（1）圖紙會(huì )審。開(kāi)工前，由技術(shù)部門(mén)組織專(zhuān)業(yè)人員對該工程和施工圖進(jìn)行會(huì )審，解決施工圖紙上存在的問(wèn)題。提出詳細施工計畫(huà)、材料計畫(huà)、施工方案，並作好圖紙會(huì )審記錄。（2）技術(shù)交底。開(kāi)工前，由有關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行施工工藝規範，技術(shù)品質(zhì)要求書(shū)面的詳細交底。石墨烯應用技術(shù)隧道爐。

加熱管采用質(zhì)量電加熱器加熱。空氣加熱方式1.由烘箱進(jìn)氣口進(jìn)風(fēng)至加熱器風(fēng)槽內；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內部做循環(huán)運風(fēng)，廢氣從排氣口排出。（外排風(fēng)管由客戶(hù)自備）控溫溫控器1.采用臺上品HOTTSP微電腦自動(dòng)演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動(dòng)整定演算輸出，控制精細。超溫保護器1.采用超溫保護器；2.當溫度超過(guò)超溫保護器設定值時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源。時(shí)間控制0~99.9小時(shí)可任意設定，時(shí)間到達后有報警并自動(dòng)停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節能效果佳，控溫效果更穩定，性能更。溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫精細。時(shí)控開(kāi)關(guān)附一個(gè)時(shí)控開(kāi)關(guān)，可設置定時(shí)開(kāi)關(guān)機。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺國產(chǎn)6通道無(wú)紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。()安全和防護空氣開(kāi)關(guān)防止過(guò)流和短路電機過(guò)流保護防止電機燒毀超溫保護防止工作室溫度過(guò)高，保護產(chǎn)品接地保護結構件安全接地保護。電源缺相相序保護配有相序保護器環(huán)境條件環(huán)境溫度-5℃-45℃相對濕度≤85%RH安裝場(chǎng)地烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm。周?chē)鸁o(wú)強烈的振動(dòng)和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒(méi)有導電性塵埃。工業(yè)烤箱品牌生產(chǎn)廠(chǎng)家。昆山重型工業(yè)烤箱出售

圓型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。太倉熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠(chǎng)家

l風(fēng)機的啟動(dòng)、停止；l電源指示，風(fēng)機及燃燒器工作狀態(tài)的指示。l風(fēng)機及加熱器的啟動(dòng)、停止。l溫度的自動(dòng)調節、顯示。l事故急停及故障狀況的指示。利用溫度感測器對溫度進(jìn)行自動(dòng)控制、顯示、上限報警。烘乾的溫度由數位式溫控儀顯示，顯示儀顯示並控制所需的溫度，還附有上限溫度報警功能。加熱器與風(fēng)機連鎖，風(fēng)機啟動(dòng)後加熱器才能啟動(dòng)；當風(fēng)機發(fā)生故障時(shí)，加熱器不能啟動(dòng)或停止供熱；當加熱器關(guān)閉時(shí)，風(fēng)機能工作，使烤房?jì)冗_到正常溫度。控制系統還具有以下優(yōu)點(diǎn)：l操作直觀(guān)簡(jiǎn)便，顯示。l自動(dòng)聯(lián)鎖、安全生產(chǎn)方面，考慮周全，設計嚴密。一旦某種故障發(fā)生，控制系統立即報警。l電氣元件選型優(yōu)良，確保整個(gè)設備長(cháng)期可靠運行。電氣控制櫃：為前開(kāi)門(mén)，外殼接地，材料：鋼板、烤漆。（提高電箱的品質(zhì)規格，保證質(zhì)量。）太倉熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠(chǎng)家

昆山臺上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司主要經(jīng)營(yíng)范圍是機械及行業(yè)設備，擁有一支專(zhuān)業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場(chǎng)口碑。公司自成立以來(lái)，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細節，公司旗下工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐深受客戶(hù)的喜愛(ài)。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念，打造機械及行業(yè)設備良好品牌。臺上品憑借創(chuàng )新的產(chǎn)品、專(zhuān)業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來(lái)的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。

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